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    基于碳納米管場效應(yīng)晶體管的pH傳感器
    王科敏 劉逸為* 劉曉峰 張志勇

    分會

    第五分會:生物分析化學(xué)

    摘要

    場效應(yīng)晶體管(FET)生物傳感器因其獨(dú)特的高靈敏度而受到廣泛關(guān)注。在傳統(tǒng)的場效應(yīng)晶體管生物傳感器中,樣品溶液與半導(dǎo)體溝道之間復(fù)雜的相互作用導(dǎo)致器件性能穩(wěn)定性較差。特別是基于FET的pH傳感器,由于惡劣的酸堿工作環(huán)境導(dǎo)致的傳感界面失效,使得精確、連續(xù)、低滯后的pH監(jiān)測極具挑戰(zhàn)。本文我們報道了一種碳納米管FET的pH傳感器,采用氧化鉿薄膜作為柵極介質(zhì)層以增強(qiáng)器件的環(huán)境穩(wěn)定性。制備的器件在多種苛刻環(huán)境中,仍展現(xiàn)良好的穩(wěn)定性,并可以實現(xiàn)pH的實時監(jiān)測。

    關(guān)鍵詞

    穩(wěn)定性,碳納米管,場效應(yīng)晶體管生物傳感器,pH傳感器

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